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潔凈室內空氣溫度和相對濕度的檢測

1、根據溫度和相對濕度波動范圍,應選擇相應的具有足夠精度的儀表進行測定。每次測定時間隔不應大于30min。

2、潔凈室內測定布置:

3、送回風口處;

4、恒溫工作區具有代表性的地點(如沿著工藝設備周圍布置或等距離布置);

5、沒有恒溫要求的潔凈室中心;

6、測點一般應布置在距外墻表面大于0.5m,離地面0.8m的同一高度上;也可以根據恒溫區的大小,分別布置在離地不同高度的幾個平面上。

6.1測點數應符合表的規定。

表溫、溫度測點數

波動范圍

室面積《50m2

每增加20~50m2

Δt=±0.5~±2℃

5個

增加3~5個

ΔRH=±5℅~±10℅

Δt≤±0.5℃

點間距不應大于2m,點數不應少于5個

ΔRH≤±5℅

6.2有恒溫恒濕要求的潔凈室。室溫波動范圍按各測點的各次溫度中偏差控制點溫度的最大值,占測點總數的百分比整理成累積統計曲線。如90%以上測點偏差值在室溫波動范圍內,為符合設計要求。反之,為不合格。

潔凈室區域溫度以各測點中最低的一次測試溫度為基準,各測點平均溫度與超偏差值的點數,占測點總數的百分比整理成累計統計曲線,90%以上測點所達到的偏差值為區域溫差,應符合設計要求。相對溫度波動范圍可按室溫波動范圍的規定執行。


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